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花岗石平台的检测方法

发表时间:2012年10月30日【

         花岗石平台检测手段有三种:
         一种是借助精度为0.5μm的电子水平仪,用位移法可检测花岗石平台的直线度,用次方法可检测花岗石平台的平面度,将检测的结果经过算法换算,可得到花岗石平台的直线度和平面度的具体数值;其 点是精度不太高,但测量数据 ,无“0”点漂移问题, 别适合于在线测量与检测花岗石平台。
         另一种测量花岗石平台直线度的方法可以通过精度为0.1μm的电容测微仪用位移法测量,其表头的示值即为花岗石平台的直线度的误差值;在此测量中,由于电感测微仪自身的“0”点漂移较严重,需经过长达24h的稳定后,其数值才可信,故使得花岗石平台加工与测量间的衔接时间增长。
         高精度花岗石平台的加工有 高精度的检测手段,目前常采用HP5528A或HP5529A动态校准仪,它的显示精度为1nm,可检测平面度、垂直度、直线度、时基即振动、角位移测量、对角测量等等。动态校准仪的检测精度 别高,但由于其复杂的光学系统和复杂的调试程序,尤其是光具返回光束的光强和保证在80以上,否则光束将被挡住,这对花岗石平台调试者来说调试较困难,调试时间较长,调试方法不容易掌握。同时其要求花岗石平台的测量环境较高。
 

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